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	短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者: 宁锦华 \| 收藏 \| 浏览/下载：32/0 \| 提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作探测率高等优点 Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器通过最终性能的比较评价得出较好的台面成型方式为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉铟基材料的刻蚀需要对样品加热在此温度下光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说采用pecvd生长sinx 选择边缘平整的光刻板用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器平均刻蚀速率过快同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离提高刻蚀速率相比较ar气 N2的物理轰击力小对材料造成的损伤小同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx 在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型能得到刻蚀速率稳定可控刻蚀后的表面光洁无残留物图形保真度好。在不同的直流偏压 Icp功率气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型并从刻蚀速率刻蚀垂直度刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下 Icp具有图形保真度好刻蚀速率稳定可控的优点因而更适用于ingaas探测器的工程制作特别在小光敏元探测器的制备中 Icp的优势将更明显。
	GPS监测中国沿海验潮站垂直运动观测研究期刊论文 OAI收割武汉大学学报(信息科学版), 2005, 期号: 12, 页码: 1044-1047+1055 刘根友; 朱耀仲; 许厚泽; 张为民收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2012/02/13 GPS 绝对重力地壳形变垂直运动海平面变化验潮站
	南海南部上层水体中多孔放射虫的组成与分布特征期刊论文 OAI收割热带海洋学报, 2005, 卷号: 24, 期号: 3, 页码: 55-64 张兰兰; 陈木宏; 陆钧; 郑范收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2011/07/05 南海南部分布特征放射虫多孔水体上层 2002年5月个体数量北部海区变化幅度复合分异度种类多样性定量研究初步分析组成特征南部海区平面分布环境因素垂直方向种数动物群优势种低纬度丰度站位泡沫
	垂直激励圆柱形容器中的非线性表面波及其不稳定性研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2003 作者: 菅永军收藏 \| 浏览/下载：1523/118 \| 提交时间：2009/04/13 垂直强迫振动非线性振幅方程表面张力阻尼系数奇异摄动展开相平面
	高能α粒子与~4He的弹性散射期刊论文 OAI收割高能物理与核物理, 1993, 期号: 4, 页码: 925-928 作者: 何淦明; 李清润收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2015/12/10 核散射弹性散射 α粒子靶核微分截面垂直平面散射振幅强子入射能量实验点
	1956年佘山观象台太阳辐射热观测报告期刊论文 OAI收割天文学报, 1957, 卷号: 5, 期号: 1, 页码: 143-149 张远良收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2012/12/21 偏度水平面幅射露光计辐射仪太阳辐射热日射强度垂直辐射全辐射
	1956年佘山观象台太阳辐射热观测报告期刊论文 OAI收割天文学报, 1957, 卷号: 5, 期号: 1, 页码: 143-149 张远良收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2012/12/21 偏度水平面幅射露光计辐射仪太阳辐射热日射强度垂直辐射全辐射