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	紫外臭氧垂直探测仪波长定标研究(英文) 期刊论文 OAI收割大气与环境光学学报, 2014, 期号: 2, 页码: 159-167 作者: 杨小虎收藏 \| 浏览/下载：29/0 \| 提交时间：2015/04/17 波长定标紫外臭氧垂直探测仪车尔尼-特纳型单色仪臭氧反演
	短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者: \| 收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作探测率高等优点 Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器通过最终性能的比较评价得出较好的台面成型方式为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉铟基材料的刻蚀需要对样品加热在此温度下光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说采用pecvd生长sinx 选择边缘平整的光刻板用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器平均刻蚀速率过快同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离提高刻蚀速率相比较ar气 N2的物理轰击力小对材料造成的损伤小同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx 在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型能得到刻蚀速率稳定可控刻蚀后的表面光洁无残留物图形保真度好。在不同的直流偏压 Icp功率气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型并从刻蚀速率刻蚀垂直度刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下 Icp具有图形保真度好刻蚀速率稳定可控的优点因而更适用于ingaas探测器的工程制作特别在小光敏元探测器的制备中 Icp的优势将更明显。
	北京上空对流层和下平流层重力波谱统计特性期刊论文 OAI收割中国科学(D辑:地球科学), 2009, 卷号: 39, 期号: 11, 页码: 1505-1514 袁韦华; 徐寄遥; 吴永富; 卞建春; 陈洪滨收藏 \| 浏览/下载：31/0 \| 提交时间：2014/04/30 气球观测温度和温度谱重力波和饱和模式盛行垂直波长
	《面发射激光器·腔内倍频》专题文章导读期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2005, 期号: 03, 页码: 247 作者: 宁永强收藏 \| 浏览/下载：14/0 \| 提交时间：2013/03/11 腔内倍频:6545 垂直腔面发射激光器:6238 连续输出:2439 光束质量:1813 复合腔:1432 外腔:1256 蓝光激光器:1202 专题文章:1188 波长:1139 激光显示:1101
	长波长GaInNAs垂直腔面发射激光器期刊论文 OAI收割量子电子学报, 2004, 期号: 05, 页码: 565-570 作者: 王立军; 秦莉; 宁永强收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2013/03/11 激光技术长波长激光 GaInNAs 垂直腔面发射激光器(VCSEL)
	冬季中层顶区域重力波谱特性期刊论文 OAI收割空间科学学报, 2004, 卷号: 24, 期号: 5, 页码: 333-339 吴永富; 徐寄遥收藏 \| 浏览/下载：34/0 \| 提交时间：2014/04/30 水平速度饱和重力波谱饱和理论盛行垂直波长大气扰动谱
	80-100km高度范围高分辩率大气水平速度扰动谱期刊论文 OAI收割空间科学学报, 1997, 卷号: 17, 期号: 1, 页码: 85-89 吴永富收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2014/04/30 观测谱饱和谱垂直波长大气结构