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机构
国家空间科学中心 [3]
长春光学精密机械与物... [3]
上海技术物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [7]
内容类型
期刊论文 [6]
学位论文 [1]
发表日期
2014 [1]
2009 [2]
2005 [1]
2004 [2]
1997 [1]
学科主题
空间物理 [3]
红外探测材料与器件 [1]
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共7条,第1-7条
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紫外臭氧垂直探测仪波长定标研究(英文)
期刊论文
OAI收割
大气与环境光学学报, 2014, 期号: 2, 页码: 159-167
作者:
杨小虎
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提交时间:2015/04/17
波长定标
紫外臭氧垂直探测仪
车尔尼-特纳型单色仪
臭氧反演
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
北京上空对流层和下平流层重力波谱统计特性
期刊论文
OAI收割
中国科学(D辑:地球科学), 2009, 卷号: 39, 期号: 11, 页码: 1505-1514
袁韦华
;
徐寄遥
;
吴永富
;
卞建春
;
陈洪滨
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提交时间:2014/04/30
气球观测
温度和温度谱
重力波和饱和模式
盛行垂直波长
《面发射激光器·腔内倍频》专题文章导读
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2005, 期号: 03, 页码: 247
作者:
宁永强
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提交时间:2013/03/11
腔内倍频:6545
垂直腔面发射激光器:6238
连续输出:2439
光束质量:1813
复合腔:1432
外腔:1256
蓝光激光器:1202
专题文章:1188
波长:1139
激光显示:1101
长波长GaInNAs垂直腔面发射激光器
期刊论文
OAI收割
量子电子学报, 2004, 期号: 05, 页码: 565-570
作者:
王立军
;
秦莉
;
宁永强
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提交时间:2013/03/11
激光技术
长波长激光
GaInNAs
垂直腔面发射激光器(VCSEL)
冬季中层顶区域重力波谱特性
期刊论文
OAI收割
空间科学学报, 2004, 卷号: 24, 期号: 5, 页码: 333-339
吴永富
;
徐寄遥
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提交时间:2014/04/30
水平速度
饱和重力波谱
饱和理论
盛行垂直波长
大气扰动谱
80-100km高度范围高分辩率大气水平速度扰动谱
期刊论文
OAI收割
空间科学学报, 1997, 卷号: 17, 期号: 1, 页码: 85-89
吴永富
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提交时间:2014/04/30
观测谱
饱和谱
垂直波长
大气结构