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OAI收割 [6]
内容类型
学位论文 [4]
CNKI期刊论文 [1]
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2021 [1]
2020 [1]
2011 [1]
2009 [3]
学科主题
S758.5 [1]
红外探测材料与器件 [1]
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森林垂直结构参数实测与遥感研究进展:以叶面积指数和聚集指数为例
CNKI期刊论文
OAI收割
2021
作者:
方红亮
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提交时间:2022/10/11
垂直结构参数
叶面积指数
聚集指数
地面测量
遥感反演
激光雷达
黑潮延伸体三维温度场垂直热结构时空变异特征研究
学位论文
OAI收割
中国科学院海洋研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:
邢霄波
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2020/06/10
黑潮延伸体
遥感数据
Argo
参数化拟合算法
垂直热结构
激光雷达在森林垂直结构参数估算中的应用
期刊论文
OAI收割
世界林业研究, 2011, 卷号: 24, 期号: 1, 页码: 41-45
作者:
马利群
;
李爱农
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2016/11/28
激光雷达
垂直结构参数
树高
生物量
郁闭度
GLAS
基于多层模型的PolInSAR垂直结构参数估计方法研究及其在森林覆盖区的应用
学位论文
OAI收割
博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009
白璐
收藏
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提交时间:2011/07/19
极化合成孔径雷达
极化干涉合成孔径雷达
垂直结构参数估计
独立散射中心模型
RVoG模型
相干最优
散射中心分辨方法
ESPRIT方法
三阶段反演方法
森林参数估计
基于多层模型的PolInSAR垂直结构参数估计方法研究及其在森林覆盖区的应用
学位论文
OAI收割
博士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009
白璐
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2011/07/19
极化合成孔径雷达
极化干涉合成孔径雷达
垂直结构参数估计
独立散射中心模型
RVoG模型
相干最优
散射中心分辨方法
ESPRIT方法
三阶段反演方法
森林参数估计
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。