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金属研究所 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
兰州化学物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2018 [1]
2013 [2]
学科主题
材料科学与物理化学 [1]
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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电弧离子镀沉积工艺参数的影响
期刊论文
OAI收割
真空, 2018, 卷号: 55, 期号: 06, 页码: 49-59
作者:
赵彦辉
;
史文博
;
刘忠海
;
刘占奇
;
于宝海
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浏览/下载:42/0
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提交时间:2018/12/25
电弧离子镀
弧电流
沉积气压
基体偏压
沉积温度
基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响
期刊论文
OAI收割
摩擦学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 29-35
作者:
张立平
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2014/03/07
ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜
基体偏压
微观结构
机械及摩擦学性能
基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜结构及性能的影响
期刊论文
OAI收割
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 29-35
作者:
胡明
;
高晓明
;
张立平
;
伏彦龙
;
杨军
收藏
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浏览/下载:34/0
  |  
提交时间:2013/12/11
ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜
基体偏压
微观结构
机械及摩擦学性能
ZrN/α-SiNx nanoscaled multilayer films
bias voltage
mirostructure
mechanical and tribological properties