机构

• 沈阳自动化研究所 [1]
• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2011 [1]
• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造业  光刻过程  RtR控制  过程控制  模型预测控制  多变量控制器  控制方法  研究进展  关键尺寸  过程建模   HT-7极向场多变量控制器中TMS320VC33的数据交换设计和实现 期刊论文  OAI收割 电子器件, 2005, 卷号: 028 -   |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2020/10/26 多变量控制器  TMS320VC33  IDT7024  数据交换