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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2012 [2]
学科主题
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共2条,第1-2条
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硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
张志强
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提交时间:2013/04/24
芯片级原子钟
激光键合
键合强度
气密性
多层缓冲原子腔
芯片级原子钟的气密性能分析
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2012, 期号: 2, 页码: 132-139
张志强
;
徐静
;
李绍良
;
吴亚明
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提交时间:2013/02/22
芯片级原子钟
多层缓冲原子腔
气密性
毛细管等效气流模型
Matlab仿真