机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2013 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75 作者:  彭海峰;  赵磊;  巩岩 收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2014/03/07 光刻投影物镜  多弹片支撑结构  自重变形  面形分析