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光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计 期刊论文  OAI收割
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794
作者:  
张德福;  孙振
收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2015/04/17
关于Columbus问题大扰动情形的完全解 期刊论文  OAI收割
中国科学A辑, 1984, 期号: 11, 页码: 1017-1024
作者:  
徐硕昌
收藏  |  浏览/下载:1185/124  |  提交时间:2009/08/03