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力学研究所 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
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光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计
期刊论文
OAI收割
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794
作者:
张德福
;
孙振
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提交时间:2015/04/17
光刻投影物镜
位移缩小机构
完全解耦
波像差
关于Columbus问题大扰动情形的完全解
期刊论文
OAI收割
中国科学A辑, 1984, 期号: 11, 页码: 1017-1024
作者:
徐硕昌
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提交时间:2009/08/03
大扰动
直接方法
连续系统
完全解
实验结果
轴对称
能量积分
耗散函数
非线性稳定