机构

• 长春光学精密机械与物... [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2018 [2]
• 2017 [1]
• 2016 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60 作者:  匡尚奇;  张超;  李硕;  杨海贵;  霍同林   |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/09/17 光学多层膜  膜系设计  量子遗传算法  宽带极紫外多层膜  离散化设计   极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406 作者:  匡尚奇;  李硕;  杨海贵;  霍同林;  周洪军   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2019/09/17 多层膜设计  极紫外  离散化设计  宽带多层膜   改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056 作者:  匡尚奇;  张超;  王一名;  周祥燕;  谢耀   |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/04/09 薄膜光学  多层膜设计  改进型量子进化算法  宽带极紫外多层膜   极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2017/09/17 薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/Si多层膜