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光电技术研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2014 [1]
2012 [1]
学科主题
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单幅圆条纹相位展开光刻对准研究
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2014, 卷号: 43, 期号: 11, 页码: 141-146
作者:
徐锋
;
胡松
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提交时间:2016/11/23
信息光学
光刻
对准
相位展开
包裹相位
封闭条纹
极坐标
光刻对准中干涉条纹相位解析研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 2, 页码: 123-128
作者:
徐锋
;
胡松
;
周绍林
;
徐文祥
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提交时间:2016/11/23
测量
相位解析
二维解析小波变换
二维小波脊
封闭条纹