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机构
长春光学精密机械与物... [1]
西安光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2012 [1]
2009 [1]
学科主题
光学 [1]
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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投影物镜小比率模型的计算机辅助装调
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2012, 期号: 04, 页码: 394-400
作者:
赵阳
;
巩岩
;
赵阳
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提交时间:2013/03/11
计算机辅助装调
小像差光学系统
灵敏度矩阵
Fringe Zernike多项式
小凹成像光学系统技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009
赵小侠
收藏
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浏览/下载:99/0
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提交时间:2011/10/09
小凹成像光学系统
微光机电可变形镜
光学系统设计
像差补偿
衍射极限
光刻