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浏览/检索结果: 共15条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  沈晨   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2019/09/23 曲面光栅离子束刻蚀机  三维工作台  凸面光栅  摆动刻蚀  硅改性RB-SiC   用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596 作者:  沈晨;  谭鑫;  朱继伟;  张伟;  齐向东   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/09/17 衍射光栅  曲面闪耀光栅  光栅刻蚀  三维工作台  圆弧拟合算法  轨迹误差   纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141 作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2017/09/17 激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测   大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071 作者:  陈琦 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2017/09/17 扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位   扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2016, 页码: 231-236 作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2018/04/09 测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪   光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182 李晓天; 于海利; 齐向东; 朱继伟; 于宏柱; 巴音贺希格 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2015/04/17 光栅  光栅刻划机  宏微两级工作台  BP神经网络  PID控制  自适应控制   激光快速成型防氧化真空系统设计 期刊论文  OAI收割 机械设计与制造, 2010, 期号: 4, 页码: 42-43 王维; 佟明; 王兴良; 杨光; 钦兰云 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2012/05/29 真空获得系统  激光熔覆  扩散泵  三维工作台   全自动金丝球焊机X-Y工作台的误差分析 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 148-152 作者:  徐宏;  董吉洪 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/03/11 微电子封装设备  全自动金丝球焊机  工作台  误差分析   间隙补偿式闭式气浮导轨性能的分析研究 会议论文  OAI收割 中国吉林长春 作者:  徐宏 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2013/03/19 间隙补偿:7469  形位公差:2882  闭式:2734  长导轨:2628  导轨性能:2395  精度要求:2091  技术难点:1992  工作台:1761  气膜:1548  分析研究:1387   压电驱动微位移工作台动态特性分析 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2000, 期号: 05, 页码: 440-443 作者:  吴一辉 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/03/12 压电陶瓷  微位移工作台  动态特性分析