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浏览/检索结果: 共22条,第1-10条 帮助

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利用形变时序分形特征识别高山冰川区滑坡 期刊论文  OAI收割
地球信息科学学报, 2025, 卷号: 27, 期号: 01, 页码: 239-255
作者:  
房颖晖;  李郎平;  杨文涛;  兰恒星;  田静
  |  收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2025/02/10
近海养殖环境沉积物中有机质的分解及其关键影响因素 学位论文  OAI收割
中国科学院海洋研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  
吴峰
  |  收藏  |  浏览/下载:72/0  |  提交时间:2022/06/12
搅拌釜内氯化钾降温结晶的实验研究 期刊论文  OAI收割
当代化工, 2018, 卷号: 47, 期号: 12, 页码: 2564-2567
作者:  
何西峰;  龙湘犁;  谢明辉;  吴亮;  周国忠
  |  收藏  |  浏览/下载:88/0  |  提交时间:2019/06/17
1944—2012年胶州湾岸线时空动态特征 期刊论文  OAI收割
科技导报(北京), 2015, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 28-34
作者:  
侯西勇
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2015/07/30
宇宙成因核素~(10)Be揭示的北祁连山侵蚀速率特征 期刊论文  OAI收割
地球科学进展, 2015, 页码: 268-275
作者:  
胡凯;  方小敏;  赵志军;  Darryl Granger
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2017/03/28
应力比对疲劳裂纹扩展速率和疲劳强度的影响 会议论文  OAI收割
中国力学大会——2013, 中国北京, 2013-08-19
作者:  
孙成奇;  李亚波;  雷铮强;  洪友士
收藏  |  浏览/下载:166/0  |  提交时间:2014/04/02
纳米多孔氧化铝薄膜加速水蒸发的研究 会议论文  OAI收割
中国工程热物理学会, 2012
胡元辰; 黄志; 胡雪蛟
收藏  |  浏览/下载:50/0  |  提交时间:2013/03/21
青海湖现代沉积速率空间分布及沉积通量初步研究 期刊论文  OAI收割
科学通报, 2010, 卷号: 55, 期号: 4-5, 页码: 384-390
徐海; 刘晓燕; 安芷生; 侯昭华; 董吉宝; 刘斌
收藏  |  浏览/下载:63/0  |  提交时间:2011/05/03
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
东海中陆架晚第四纪底栖有孔虫定量分析 CNKI期刊论文  OAI收割
2004
作者:  
庄丽华,李铁刚,常凤鸣,孙荣涛,阎军
  |  收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2024/12/20