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	平面平晶工作面平面度测量值的不确定度评定期刊论文 OAI收割计量与测试技术, 2015, 期号: 03, 页码: 94-95 作者: 张馥生收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2016/07/06 平面平晶不确定度评定
	平晶型激光错位干涉仪原理及其应用期刊论文 OAI收割中国激光, 1978, 期号: Z1, 页码: 153-154 作者: 刘建邦收藏 \| 浏览/下载：1560/123 \| 提交时间：2009/08/03 平晶错位干涉仪干涉图案球面波前激光与物质相互作用平面波测系统均匀性检验理想球面