机构

• 上海光学精密机械研究... [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2006 [2]

学科主题

• 光学薄膜 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算 期刊论文  OAI收割 计算物理, 2006, 卷号: 23, 期号: 6, 页码: 738, 742 方明; 范正修; 黄建兵 收藏  |  浏览/下载：743/103  |  提交时间：2009/09/22 薄膜淀积  均匀性  平面行星夹具  计算机模拟   平面行星夹具均匀性修正挡板设计方法研究 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 286, 289 方明; 郑伟军; 吴明; 范瑞瑛; 易葵; 范正修 收藏  |  浏览/下载：848/117  |  提交时间：2009/09/22 光学薄膜  平面行星夹具  修正挡板设计  停留概率修正法