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压电驱动微位移工作台动态特性分析 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2000, 期号: 05, 页码: 440-443
作者:  
吴一辉
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2013/03/12