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基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111
作者:  
邢莎莎;  冉英华;  江海波;  邢廷文
收藏  |  浏览/下载:48/0  |  提交时间:2016/11/01
微反射镜阵列在光束整形中的应用 期刊论文  OAI收割
红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 1210-1214
作者:  
杜猛;  邢廷文;  袁家虎
收藏  |  浏览/下载:31/0  |  提交时间:2016/11/01
微反射镜阵列在光束整形中的应用 会议论文  OAI收割
第十届全国光电技术学术交流会论文集, 2012
作者:  
杜猛;  邢廷文;  袁家虎
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2016/11/23