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光电技术研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
2015 [1]
2014 [1]
2012 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111
作者:
邢莎莎
;
冉英华
;
江海波
;
邢廷文
收藏
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提交时间:2016/11/01
成像系统
照明模式变换
自由照明光瞳
微反射镜阵列
光束整形
非球面复眼
微反射镜阵列在光束整形中的应用
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 1210-1214
作者:
杜猛
;
邢廷文
;
袁家虎
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2016/11/01
光束整形
微反射镜阵列
仿真
微反射镜阵列在光束整形中的应用
会议论文
OAI收割
第十届全国光电技术学术交流会论文集, 2012
作者:
杜猛
;
邢廷文
;
袁家虎
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2016/11/23
光束整形
微反射镜阵列
仿真