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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• 期刊论文 [2]

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• 2009 [1]
• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1 王家畴; 李昕欣; 孙立宁 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/01/06 UV-LIGA  电镀  厚胶工艺  射频无源器件  微机械探卡   一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2008, 期号: 02 徐玮鹤; 林友玲; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械探卡  芯片测试  悬臂梁  接触电阻