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机构
上海光学精密机械研究... [2]
金属研究所 [1]
南京天文光学技术研究... [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [4]
发表日期
2010 [2]
2009 [1]
2000 [1]
学科主题
天文技术与方法::天... [1]
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共4条,第1-4条
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基于飞秒激光与透明材料相互作用的三维微纳制备与集成
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
廖洋
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2016/11/28
芯片实验室
飞秒激光三维集成
微流体
微光学
微电学
基于飞秒激光与透明材料相互作用的三维微纳制备与集成
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
廖洋
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/28
芯片实验室
飞秒激光三维集成
微流体
微光学
微电学
PECVD硅烷分解法制备硅层基本规律的研究
学位论文
OAI收割
博士, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2009
程华
收藏
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浏览/下载:90/0
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提交时间:2012/04/10
微晶硅薄膜
PECVD
Ar放电
沉积速率
组织结构
结晶状态
薄膜稳定性
电学特性
光学特性
红外移相干涉仪压电陶瓷微位移器的驱动电源研制和位移非线性校正
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院, 2000
作者:
罗秋凤
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2014/03/05
压电陶瓷微位移器
驱动电源
电学模型
传递函数
分段非线性校正