机构

• 沈阳自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 305-311 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/10/24 化学机械研磨  径向基函数神经网络  预测控制  批次控制  微粒群滚动优化