机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275 作者:  赵磊;  张德福 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2015/04/17 光刻投影物镜  微调整机构  光机结构  波像差