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	磁悬浮微进给机构的PID控制期刊论文 OAI收割哈尔滨工业大学学报, 2004, 期号: 01, 页码: 28-31 作者: 韩红霞收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2013/03/11 磁悬浮微进给机构直线电机 PID控制电磁阻尼时变
	磁悬浮微进给机构研究期刊论文 OAI收割中国机械工程, 2003, 期号: 13, 页码: 16-19+3 宋文荣; 于国飞; 王延风; 何惠阳收藏 \| 浏览/下载：12/0 \| 提交时间：2013/03/11 磁悬浮微进给机构直线电机超洁净进给精度
	一种nm级超精密镜面磨削的微进给工作台期刊论文 OAI收割仪器仪表学报, 1996, 期号: S1, 页码: 388 作者: 王平收藏 \| 浏览/下载：57/0 \| 提交时间：2013/03/12 微进给:5273 镜面磨削:5245 超精密加工:4725 工作台:2814 超精密磨削:2561 超精密车削:1406 微量进给机构:1343 工程陶瓷:1252 金刚石车刀:1126 位置分辨率:1111