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OAI收割 [6]
内容类型
会议论文 [3]
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学位论文 [1]
发表日期
2013 [1]
2011 [2]
2010 [1]
2009 [1]
2008 [1]
学科主题
红外探测材料与器件 [1]
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共6条,第1-6条
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专家寄语
期刊论文
OAI收割
计算机科学, 2013, 期号: 3, 页码: 315
张云泉
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提交时间:2013/09/17
计算科学
超级计算机
高性能计算
竞争优势
国家安全
并行计算
地球科学
处理器
科学研究
并行软件
系统时间的互操作方法研究
会议论文
OAI收割
第二届中国卫星导航学术年会, 中国上海, 2011
李孝辉
;
许龙霞
;
张慧君
;
薛艳荣
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提交时间:2012/10/19
多模导航
系统时间
算法
互操作性|Abstract
系统时间的互操作性要求能使用多个卫星导航系统的时间。在分析系统时间偏差在用户端的表现形式的基础上
研究了目前的两种系统时差处理方法
在开阔环境中
用户级处理方法要好于系统级处理方法
但在遮挡环境中
由于观测卫星的几何精度因子不好导致用户级处理方法的性能下降。针对用户级处理方法的局限性
提出系统时间偏差辅助导航算法
在观测卫星几何结构不好时
将系统时间偏差的外推值作为已知量
通过减少未知数个数来提高定位精度
并用仿真实验对这种方法进行验证
证明系统时差辅助导航方法在提高可用性和该善定位精度方面有明显优势。
高速空气循环制冷机轴承结构及轴系振动性能的试验研究
会议论文
OAI收割
中国航空学会第七届动力年会, 中国贵州贵阳, 2010-10-01
作者:
伍敏
;
黄国君
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提交时间:2014/02/20
滚动轴承
试验研究
机轴
转子结构
轴系结构
转子振动
新型气
整体改造
运行转速
性能优势
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
基于SCC空性检测中状态空间的缩减方法
期刊论文
OAI收割
计算机学报, 2008, 卷号: 31, 期号: 6, 页码: 979-988
晏荣杰
;
张文亮
;
唐稚松
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提交时间:2011/06/10
空性检测
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