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机构
上海光学精密机械研究... [2]
力学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2024 [1]
2015 [1]
学科主题
光学工程 [1]
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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基于椭偏技术的纳米薄膜弱物理信号解析及其应用研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2024
作者:
王晨昱
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2024/06/04
椭偏测量技术
光谱椭偏仪
成像椭偏传感器
小分子弱相互作用
弱应力检测
成像椭偏测量技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
胡仕玉
收藏
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浏览/下载:69/0
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提交时间:2016/11/28
成像椭偏测量
椭偏参量
装调与标定
薄膜参数
缺陷检测
大视场成像椭偏仪及其应用研究
学位论文
OAI收割
作者:
谷利元
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2018/12/26
成像椭偏仪,大视场,测量技术,超薄金属薄膜,厚度参数,表面等离子体共振
Imaging Ellipsometer,Large field of view,Measuring technology,Ultra-thin metal film,Thickness parameter,Surface Plasmon Resonance