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OAI收割 [7]
内容类型
期刊论文 [5]
学位论文 [2]
发表日期
2016 [1]
2009 [1]
2006 [1]
2005 [1]
2004 [2]
1992 [1]
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学科主题
微波遥感 [1]
红外探测材料与器件 [1]
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共7条,第1-7条
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生物传感器在POCT中的应用研究
期刊论文
OAI收割
化学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 42378
作者:
邓王平
;
王丽华
;
宋世平
;
左小磊
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提交时间:2016/12/21
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集成型生物传感器
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
一种可变插值比的脉冲成型数字滤波器FPGA设计
期刊论文
OAI收割
遥感技术与应用, 2006, 卷号: 21, 期号: 5, 页码: 445-449
付文君
;
姜景山
;
王拴荣
;
吕娈
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提交时间:2014/05/04
脉冲成型滤波器
FPGA
时变系数多相插值滤波器
航空遥感
基因芯片在丙型肝炎病毒分型检测中的评价
期刊论文
OAI收割
现代免疫学, 2005, 期号: 01
毛红菊
;
金根娣
;
刘康栋
;
赵建龙
;
陆志檬
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提交时间:2012/01/06
混合集成型光学拾音器
微光学棱镜
光电探测器
CMOS集成电路
基于DLB的自适应速率整形算法
期刊论文
OAI收割
计算机研究与发展, 2004, 卷号: 41, 期号: 2
王军
;
刘阳
;
吴志美
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提交时间:2010/08/24
通信量整形
突发度
平均速率
峰值速率
令牌
成型器
双漏桶算法
金属零件直接成型螺旋送粉器
期刊论文
OAI收割
应用激光, 2004, 卷号: 24, 期号: 6, 页码: 355-356
作者:
尚晓峰
;
李艳丽
;
胡芳友
;
唐仁刚
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提交时间:2010/11/29
直接成型
螺旋送粉器
连续
稳定
以过氧化氢为基础电极的平面微型葡萄糖传感器的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所) , 1992
田承云
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提交时间:2012/03/06
微型电极
集成型传感器
微型传感器
生物传感器