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薄壁曲面复合材料层合板成型工艺参数与形面精度影响规律 期刊论文 OAI收割
宇航材料工艺, 2021, 卷号: 51, 期号: 6, 页码: 49-53
作者: 杨智勇; 解永杰; 张建宝; 尚呈元; 林娜

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高形面精度薄壁层合板成型工艺

用于选择性激光烧结的聚合物粉末材料研究进展 期刊论文 OAI收割
功能材料, 2019, 卷号: 50, 期号: 10
作者: 龚小弟; 王智; 于宁; 高霞; 黎静

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选择性激光烧结复合材料聚合物烧结成型工艺

基于正交实验的铝瓶盖冲压成型参数优化 期刊论文 OAI收割
机械设计与制造, 2016, 期号: 9, 页码: 210-213
作者: 王瑞; 石明全; 肖建军

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工艺参数正交试验数值模拟拉深成型瓶盖

大口径碳化硅反射镜轻量化结构与镜坯成型 期刊论文 OAI收割
光学与光电技术, 2014, 期号: 6, 页码: 65-69
作者: 包建勋; 赵汝成

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碳化硅反射镜轻量化结构反应烧结凝胶注浆成型制备工艺

耐高温聚酰亚胺树脂及其复合材料 会议论文 OAI收割
中国化学会第29届学术年会, 中国北京, 2014-08-04
王震

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耐高温聚酰亚胺复合材料成型工艺

粉末冶金Ti-5Al-2.5Sn合金的致密化行为及性能 会议论文 OAI收割
中国有色金属工业协会钛锆铪分会2011年会, 2011
徐磊; 邬军; 刘羽寅等

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钛合金构件粉末冶金近净成型工艺致密化行为性能评价

短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文 OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者: 宁锦华

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收藏 | 浏览/下载：29/0 | 提交时间：2012/08/22

由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作探测率高等优点 Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器通过最终性能的比较评价得出较好的台面成型方式为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉铟基材料的刻蚀需要对样品加热在此温度下光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说采用pecvd生长sinx 选择边缘平整的光刻板用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器平均刻蚀速率过快同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离提高刻蚀速率相比较ar气 N2的物理轰击力小对材料造成的损伤小同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx 在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型能得到刻蚀速率稳定可控刻蚀后的表面光洁无残留物图形保真度好。在不同的直流偏压 Icp功率气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型并从刻蚀速率刻蚀垂直度刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下 Icp具有图形保真度好刻蚀速率稳定可控的优点因而更适用于ingaas探测器的工程制作特别在小光敏元探测器的制备中 Icp的优势将更明显。

百癣夏塔热片成型工艺研究 期刊论文 OAI收割
中草药, 2007, 卷号: 38, 期号: 11, 页码: 1666-1667
作者: 吴韬; 薛梅; 阿吉艾克拜尔·艾萨

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成型工艺研究崩解时限微粉硅胶均匀设计夏塔休止角司卡摩尼亚脂稠膏干燥工艺加热回流提取

贮氢合金负极的动力学性能 学位论文 OAI收割
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005
花均社

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贮氢合金活化速度动力学性能高倍率放电成型工艺表面处理雾化合金熔体旋淬合金

紫外光固化快速成型中的工艺规划方法研究 学位论文 OAI收割
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2004
作者: 赵吉宾

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快速成型工艺规划多目标优化 STL数据模型加工路径