中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
机构
采集方式
内容类型
发表日期
学科主题
筛选

浏览/检索结果: 共10条,第1-10条 帮助

条数/页: 排序方式:
生物质成型燃料热解半焦产率及理化特性 期刊论文  OAI收割
农业工程学报, 2019, 卷号: 035
作者:  
涂德浴;  潘庆民;  张传佳;  陈文
  |  收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2020/10/26
金属注射成型生物医用Ti-22Nb合金的表面形貌和细胞相容性(英文) 期刊论文  OAI收割
Transactions of Nonferrous Metals Society of China, 2018, 卷号: 28, 期号: 07, 页码: 1342-1350
作者:  
Regine WILLUMEIT-R?MER;  赵大鹏;  陈钰凯;  常可可;  Thomas EBEL
  |  收藏  |  浏览/下载:31/0  |  提交时间:2018/12/04
超轻碳纤维反射镜及支撑技术研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  
左玉弟
  |  收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2019/09/23
纤维素单独成型及燃烧特性研究 期刊论文  OAI收割
东北农业大学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 106-112
作者:  
蒋恩臣;  高忠志;  秦丽元;  姜洋;  王明峰
  |  收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2017/12/31
大口径碳化硅反射镜轻量化结构与镜坯成型 期刊论文  OAI收割
光学与光电技术, 2014, 期号: 6, 页码: 65-69
作者:  
包建勋;  赵汝成
收藏  |  浏览/下载:43/0  |  提交时间:2015/04/17
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
应用Flow2000软件分析功能块成型结构的设计 期刊论文  OAI收割
工程塑料应用, 2003, 卷号: 031
作者:  
孙战里;  尹延国
  |  收藏  |  浏览/下载:52/0  |  提交时间:2020/11/23
学科间高度交叉融合是21世纪科技发展的特征 期刊论文  OAI收割
群言, 1996, 期号: 8, 页码: 5--7
作者:  
冼鼎昌
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2015/12/07
纳米固体材料结构特征 期刊论文  OAI收割
电子显微学报, 1993, 期号: 2, 页码: 158
李斗星; 平德海; 叶恒强; 纪小丽; 吴希俊
收藏  |  浏览/下载:62/0  |  提交时间:2012/04/12
发展中的特种工程塑料 期刊论文  OAI收割
工程塑料应用, 1981, 期号: 3, 页码: 6-8
刘克静
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2012/06/18