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OAI收割 [10]
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期刊论文 [8]
学位论文 [2]
发表日期
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2016 [1]
2014 [1]
2009 [1]
2003 [1]
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学科主题
红外探测材料与器件 [1]
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共10条,第1-10条
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生物质成型燃料热解半焦产率及理化特性
期刊论文
OAI收割
农业工程学报, 2019, 卷号: 035
作者:
涂德浴
;
潘庆民
;
张传佳
;
陈文
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提交时间:2020/10/26
热解
生物质
成型燃料
半焦
扫描电镜
孔隙结构
金属注射成型生物医用Ti-22Nb合金的表面形貌和细胞相容性(英文)
期刊论文
OAI收割
Transactions of Nonferrous Metals Society of China, 2018, 卷号: 28, 期号: 07, 页码: 1342-1350
作者:
Regine WILLUMEIT-R?MER
;
赵大鹏
;
陈钰凯
;
常可可
;
Thomas EBEL
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2018/12/04
金属注射成型
Ti-nb合金
表面拓扑结构
细胞吸附
细胞增殖
超轻碳纤维反射镜及支撑技术研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
左玉弟
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提交时间:2019/09/23
碳纤维复合材料
碳纤维反射镜
Bipod柔性支撑结构
集成优化
高压釜成型
真空注射成型
超精密加工
面形精度
有限元分析
纤维素单独成型及燃烧特性研究
期刊论文
OAI收割
东北农业大学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 106-112
作者:
蒋恩臣
;
高忠志
;
秦丽元
;
姜洋
;
王明峰
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提交时间:2017/12/31
纤维素
成型
微观结构
燃烧
大口径碳化硅反射镜轻量化结构与镜坯成型
期刊论文
OAI收割
光学与光电技术, 2014, 期号: 6, 页码: 65-69
作者:
包建勋
;
赵汝成
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提交时间:2015/04/17
碳化硅反射镜
轻量化结构
反应烧结
凝胶注浆成型
制备工艺
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
应用Flow2000软件分析功能块成型结构的设计
期刊论文
OAI收割
工程塑料应用, 2003, 卷号: 031
作者:
孙战里
;
尹延国
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提交时间:2020/11/23
Flow2000软件
挤出模头
功能块
成型结构
塑料门窗
学科间高度交叉融合是21世纪科技发展的特征
期刊论文
OAI收割
群言, 1996, 期号: 8, 页码: 5--7
作者:
冼鼎昌
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提交时间:2015/12/07
科技发展
双螺旋结构
微机械加工
同步辐射
电铸成型
DNA
光刻胶
光刻工艺
减除法
结构分析
纳米固体材料结构特征
期刊论文
OAI收割
电子显微学报, 1993, 期号: 2, 页码: 158
李斗星
;
平德海
;
叶恒强
;
纪小丽
;
吴希俊
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提交时间:2012/04/12
纳米固体材料:7740
结构特征:3347
晶界结构:2441
压制成型:2274
晶粒直径:2068
纳米材料:1880
研制成功:1822
纳米粒子:1624
多晶材料:1435
清洁表面:1381
发展中的特种工程塑料
期刊论文
OAI收割
工程塑料应用, 1981, 期号: 3, 页码: 6-8
刘克静
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提交时间:2012/06/18
注射成型
特种工程塑料
结构材料