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浏览/检索结果: 共46条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022 作者:  杨超   |  收藏  |  浏览/下载：98/0  |  提交时间：2022/10/08 光学设计，投影光刻物镜，波像差，像质补偿   投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  赵磊   |  收藏  |  浏览/下载：133/0  |  提交时间：2020/08/24 投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜   投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  周泽龙   |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/09/23 投影光刻物镜  偏振像差  琼斯矩阵  穆勒矩阵   193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文  OAI收割 中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581 作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑   |  收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2018/04/09 集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学   全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643 作者:  刘健;  张春雷;  徐乐;  马占龙;  王飞   |  收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2017/09/17 氟化钙  投影光刻物镜  精密光学加工  亚纳米精度加工  离子束修形(Ibf)   深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285 作者:  姚长呈;  巩岩   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/09/17 光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差   掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476 作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/09/17 光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析   用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77 作者:  高松涛;  武东城;  于长淞   |  收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2017/09/17 测量  计算全息图  非球面  投影光刻物镜  衍射鬼像  干涉仪   基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  方伟 收藏  |  浏览/下载：156/0  |  提交时间：2016/11/28 Ptychography  PIE  相位恢复  波像差  光刻投影物镜  极紫外光刻   精密光学系统的热像差 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040 作者:  张巍;  于新峰;  周连生;  王学亮;  倪明阳 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2016/07/06 精密光学系统  激光辐照  投影光刻物镜  热像差