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两种后处理方法对HfO2薄膜性能的影响 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 9, 页码: 1683, 1686
尚光强; 王聪娟; 袁磊; 贺洪波; 范正修; 邵建达
收藏  |  浏览/下载:977/192  |  提交时间:2009/09/22