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OAI收割 [17]
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期刊论文 [10]
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中文期刊论文 [1]
发表日期
2017 [1]
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2012 [1]
2011 [1]
2010 [1]
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学科主题
环境科学::环境化学 [3]
红外探测材料与器件 [1]
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共17条,第1-10条
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常见花卉植物释放挥发性有机化合物的研究进展
期刊论文
OAI收割
生态学杂志, 2017, 卷号: 37, 期号: 02, 页码: 588-595
作者:
田媛
;
胡春芳
;
袁相洋
;
冯兆忠
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2019/03/14
花卉植物
植物源挥发性有机物
释放速率
影响因素
温度影响材料污染物散发速率的理论关系式
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会-传热传质, 2013
熊建银
;
蔚文娟
;
黄少丹
;
张寅平
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浏览/下载:101/0
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提交时间:2013/11/28
散发速率
温度
关系式
挥发性有机物(VOC)
室内空气品质
阴极射线管玻璃高温自蔓延热力学机理研究
会议论文
OAI收割
第十七届全国高技术陶瓷学术年会, 中国江苏南京, 2012-09-19
作者:
朱建新
;
王昱
;
谢毅君
;
于波
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/02/14
陶瓷复合材料
迁移转化规律
重金属铅
挥发速率
力学规律
若干酯和醇的大气化学反应动力学及机理研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
梁鹏
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提交时间:2011/08/26
可挥发性有机物
羟基自由基
氯原子
反应速率常数
保护地菜田土壤氨挥发损失及影响因素研究
中文期刊论文
OAI收割
2010
习斌
;
张继宗
;
左强
;
邹国元
;
翟丽梅
;
刘宏斌
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浏览/下载:153/0
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提交时间:2012/05/21
氨挥发
氨挥发速率
保护地
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
沈阳地区典型绿化树种生物源挥发性有机物的排放速率
期刊论文
OAI收割
东北林业大学学报, 2009, 期号: 03, 页码: 3205-3207+3316
作者:
陈颖
;
李德文
;
史奕
;
何兴元
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提交时间:2011/05/05
绿化树种
生物源挥发性有机物(Bvocs)
排放速率
沈阳地区典型绿化树种生物源挥发性有机物的排放速率
期刊论文
OAI收割
东北林业大学学报, 2009, 期号: 03, 页码: 3205-3207+3316
陈颖
;
李德文
;
史奕
;
何兴元
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提交时间:2011/05/05
绿化树种
生物源挥发性有机物(BVOCs)
排放速率
沈阳市四种乔木树种BVOCs排放特征
期刊论文
OAI收割
生态学杂志, 2009, 期号: 12, 页码: 2410-2416
作者:
陈颖
;
史奕
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提交时间:2016/12/06
乔木树种
植物源挥发性有机物(BVOCs)
排放速率
沈阳市
三江平原典型小叶章湿地土壤氨挥发特征及影响因素
期刊论文
OAI收割
生态学杂志, 2006, 卷号: 25, 期号: 8, 页码: 931-937
孙志高
;
刘景双
;
王金达
;
秦胜金
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提交时间:2010/11/18
氨挥发
氨挥发速率
小叶章湿地
影响因素
三江平原