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浏览/检索结果: 共11条,第1-10条 帮助

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卸荷损伤原状膨胀土剪切力学特性试验研究 期刊论文  OAI收割
岩土力学, 2019, 卷号: 40.0, 期号: 012, 页码: 4685
作者:  
李新明;  孔令伟;  郭爱国
  |  收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2021/05/25
热损伤后北山花岗岩裂隙演化及渗透率试验研究 期刊论文  OAI收割
岩土工程学报, 2017, 期号: 08, 页码: 1493-1500
作者:  
陈世万;  杨春和;  刘鹏君;  魏翔
  |  收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2018/06/25
基于邓肯-张模型的结构性软土应力应变关系研究 期刊论文  OAI收割
水文地质工程地质, 2014, 期号: 04, 页码: 75-79+86
作者:  
杨爱武;  梁超
  |  收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2018/06/25
搭接钎焊点剪切中的厚度影响与界面损伤 会议论文  OAI收割
中国力学大会——2013, 中国陕西西安, 2013
张磊; 陈才
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2014/01/10
单轴压缩下加载速率对石膏波速变化影响的试验研究 期刊论文  OAI收割
水电能源科学, 2013, 期号: 09, 页码: 89-91+181
作者:  
黄晓程;  李海波;  夏祥;  王秒;  宋全杰
  |  收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2018/06/25
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
沉积速率对热舟蒸发LaF3薄膜性能的影响 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: 1557, 1561
余华; 崔云; 申雁鸣; 齐红基; 邵建达; 范正修
收藏  |  浏览/下载:993/177  |  提交时间:2009/09/22
短裂纹随机行为与金属疲劳损伤的理论分析 期刊论文  OAI收割
固体力学学报, 1998, 卷号: 19, 期号: 2, 页码: 166
作者:  
乔宇;  洪友士
收藏  |  浏览/下载:856/53  |  提交时间:2007/06/15
谱载荷下的短裂纹扩展规律及疲劳损伤的研究 期刊论文  OAI收割
金属学报, 1995, 期号: 10, 页码: 479-484
张广平,臧启山,王中光
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2012/04/12