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OAI收割 [11]
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期刊论文 [8]
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会议论文 [1]
发表日期
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学科主题
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力学 [1]
红外探测材料与器件 [1]
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共11条,第1-10条
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卸荷损伤原状膨胀土剪切力学特性试验研究
期刊论文
OAI收割
岩土力学, 2019, 卷号: 40.0, 期号: 012, 页码: 4685
作者:
李新明
;
孔令伟
;
郭爱国
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提交时间:2021/05/25
膨胀土
卸荷速率
卸荷损伤
剪切强度
三轴试验
热损伤后北山花岗岩裂隙演化及渗透率试验研究
期刊论文
OAI收割
岩土工程学报, 2017, 期号: 08, 页码: 1493-1500
作者:
陈世万
;
杨春和
;
刘鹏君
;
魏翔
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2018/06/25
热损伤
渗透率
加热速率
渗透类型
裂隙体积应变
基于邓肯-张模型的结构性软土应力应变关系研究
期刊论文
OAI收割
水文地质工程地质, 2014, 期号: 04, 页码: 75-79+86
作者:
杨爱武
;
梁超
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2018/06/25
结构性
结构屈服应力
损伤速率
刚度比
邓肯-张模型
搭接钎焊点剪切中的厚度影响与界面损伤
会议论文
OAI收割
中国力学大会——2013, 中国陕西西安, 2013
张磊
;
陈才
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2014/01/10
界面损伤
钎焊
厚度影响
搭接
焊点
焊料
局部失稳
组织结构变化
强化作用
剪切强度
流态
应变速率
应力分析
不同厚度:1
单轴压缩下加载速率对石膏波速变化影响的试验研究
期刊论文
OAI收割
水电能源科学, 2013, 期号: 09, 页码: 89-91+181
作者:
黄晓程
;
李海波
;
夏祥
;
王秒
;
宋全杰
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2018/06/25
单轴压缩试验
加载速率
石膏试样
波速
损伤阈值
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
沉积速率对热舟蒸发LaF
3
薄膜性能的影响
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: 1557, 1561
余华
;
崔云
;
申雁鸣
;
齐红基
;
邵建达
;
范正修
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提交时间:2009/09/22
薄膜
LaF3单层膜
沉积速率
退火
折射率
激光损伤阈值
thin films
LaF3 single-layer coatings
deposition rate
annealing
refractive index
laser-induced damage threshold
短裂纹随机行为与金属疲劳损伤的理论分析
期刊论文
OAI收割
固体力学学报, 1998, 卷号: 19, 期号: 2, 页码: 166
作者:
乔宇
;
洪友士
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提交时间:2007/06/15
短裂纹
裂纹数密度
裂纹扩展速率
随机行为
疲劳损伤
谱载荷下的短裂纹扩展规律及疲劳损伤的研究
期刊论文
OAI收割
金属学报, 1995, 期号: 10, 页码: 479-484
张广平,臧启山,王中光
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提交时间:2012/04/12
谱载荷
短裂纹
扩展速率
疲劳损伤