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	硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制期刊论文 OAI收割仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1 王家畴; 李昕欣; 孙立宁收藏 \| 浏览/下载：31/0 \| 提交时间：2012/01/06 UV-LIGA 电镀厚胶工艺射频无源器件微机械探卡
	一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器期刊论文 OAI收割传感技术学报, 2008, 期号: 02 徐玮鹤; 林友玲; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机械探卡芯片测试悬臂梁接触电阻
	HfC涂覆碳纳米管增强场发射性能研究期刊论文 OAI收割真空电子技术, 2006, 期号: 01 蒋军; 冯涛; 张继华; 戴丽娟; 程新红; 宋朝瑞; 王曦; 柳襄怀; 邹世昌收藏 \| 浏览/下载：14/0 \| 提交时间：2012/01/06 悬臂梁探卡 MEMS
	悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造技术学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005 郭南翔收藏 \| 浏览/下载：31/0 \| 提交时间：2012/03/06 MEMS 探卡悬臂梁自隔离