机构

• 上海光学精密机械研究... [9]
• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [10]

内容类型

• 期刊论文 [6]
• 学位论文 [4]

发表日期

• 2016 [1]
• 2015 [2]
• 2014 [6]

学科主题

• 光学工程 [1]

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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  杨朝兴 收藏  |   自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 作者:  江海波 收藏  |   倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  何骏 收藏  |   基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257 作者:  闫观勇;  李思坤;  王向朝 收藏  |   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |   基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257 作者:  闫观勇;  李思坤;  王向朝 收藏  |   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |   基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257 作者:  闫观勇;  李思坤;  王向朝 收藏  |   基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术 学位论文  OAI收割 作者:  王磊   |  收藏  |