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光电技术研究所 [3]
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基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计
期刊论文
OAI收割
制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50
作者:
佟军民
;
胡松
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2016/11/23
掩模移动曝光技术
接近式光刻机
对准系统
对准精度
任意排布、不规则连续面形微光学元件的成形方法研究
学位论文
OAI收割
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
董小春
收藏
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浏览/下载:86/0
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提交时间:2013/11/19
微光学
不规则面形
微光刻技术
曝光阈值
掩模移动滤波
掩模移动曝光系统精密定位工件台技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2007
佟军民
收藏
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浏览/下载:73/0
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提交时间:2013/11/19
掩模移动曝光技术
精密定位工件台
移动直线性
移动正交性
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