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基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文  OAI收割
制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50
作者:  
佟军民;  胡松
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2016/11/23
任意排布、不规则连续面形微光学元件的成形方法研究 学位论文  OAI收割
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
董小春
收藏  |  浏览/下载:86/0  |  提交时间:2013/11/19
掩模移动曝光系统精密定位工件台技术研究 学位论文  OAI收割
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2007
佟军民
收藏  |  浏览/下载:73/0  |  提交时间:2013/11/19
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