机构

• 微电子研究所 [1]
• 自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2008 [1]
• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 基于PLC的运动控制与过程控制研究 学位论文  OAI收割 工学硕士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2008 李庆涛 收藏  |  浏览/下载：132/0  |  提交时间：2015/09/02 运动控制  过程控制  掩膜版传输  预对准  反渗透膜  膜热消毒  管道热消毒  motion control  process control  mask transport system  pre-alignment  reverse osmosis  membrane hot-disinfection  pipe hot-disinfection   电子束曝光技术的应用 期刊论文  OAI收割 世界产品与技术, 2002, 期号: 4, 页码: 2,30_31 作者:  刘明;  张建宏   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/25 集成电路  掩膜版  微型器件制造  低微电子结构  电子束  曝光技术 应用