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机构
长春光学精密机械与物... [1]
光电技术研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2009 [1]
2001 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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彩色线阵CCD颜色几何失真及校正方法
期刊论文
OAI收割
现代电子技术, 2009, 期号: 24
张鹏
;
杨凯
;
张忠臣
;
梁国龙
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/09/25
CCD
几何失真
曝光校正
软件校正
速度匹配
提高光刻图形质量的双曝光技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2001
苏平
收藏
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提交时间:2013/11/19
双曝光技术
相移掩模
光学邻近效应校正
分辨率
焦深