中国科学院机构知识库网格系统: 检索

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条

帮助

条数/页：排序方式：
	机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究期刊论文 OAI收割机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40 作者: 张宝庆; 张绍泽; 曹聪; 高劲松 \| 收藏 \| 浏览/下载：93/0 \| 提交时间：2021/07/06 机刻光栅复合基底残余应力薄膜压痕模拟
	大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究学位论文 OAI收割中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 姚雪峰 \| 收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2019/09/23 光栅刻划机机刻光栅研磨加工传动精度测量宏微双重驱动
	大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究学位论文 OAI收割中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 糜小涛 \| 收藏 \| 浏览/下载：36/0 \| 提交时间：2019/09/23 衍射光栅光栅刻划机微定位系统控制器设计刻线误差测量系统余弦误差阿贝误差大气折射率衍射波前基底面形误差镀膜均匀性
	光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法期刊论文 OAI收割中国激光, 2017, 页码: 148-156 作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天 \| 收藏 \| 浏览/下载：48/0 \| 提交时间：2018/04/09 衍射光栅阿贝误差衍射波前刻线位置误差刻划机
	衍射光栅刻划机期刊论文 OAI收割光学学报, 1981, 期号: 01, 页码: 51-58 梁浩明; 庄夔; 张庆英; 杨厚民收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2013/03/11 衍射光栅刻划机:7313 平面衍射光栅:4650 滑座:3408 鬼线:2086 分度系统:1351 刻线机:1348 干涉控制:1230 精密机械:1203 机械式:1142 干涉条纹:1000