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	极紫外光刻材料研究进展期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 6, 页码: 1850 作者: 耿永友; 邓常猛; 吴谊群收藏 \| 浏览/下载：41/0 \| 提交时间：2016/11/28 极紫外光刻极紫外光刻材料极紫外光刻性能
	极紫外光刻材料研究进展期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 6, 页码: 1850 作者: 耿永友; 邓常猛; 吴谊群收藏 \| 浏览/下载：42/0 \| 提交时间：2016/11/25 极紫外光刻极紫外光刻材料极紫外光刻性能
	极紫外光刻材料研究进展期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 6, 页码: 1850 作者: 耿永友; 邓常猛; 吴谊群收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2016/11/28 极紫外光刻极紫外光刻材料极紫外光刻性能