机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2017 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844 作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦   |  收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2018/04/09 极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜