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• OAI收割 [4]

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• 期刊论文 [4]

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• 2016 [1]
• 2014 [3]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文  OAI收割 科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127 作者:  吴义恒;  鹿国庆;  李伶俐;  卢启鹏   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2017/09/17 极紫外光刻  光刻胶  平衡关系  材料设计   极紫外光刻材料研究进展 期刊论文  OAI收割 红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 6, 页码: 1850 作者:  耿永友;  邓常猛;  吴谊群 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  极紫外光刻材料  极紫外光刻性能   极紫外光刻材料研究进展 期刊论文  OAI收割 红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 6, 页码: 1850 作者:  耿永友;  邓常猛;  吴谊群 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2016/11/25 极紫外光刻  极紫外光刻材料  极紫外光刻性能   极紫外光刻材料研究进展 期刊论文  OAI收割 红外与激光工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 6, 页码: 1850 作者:  耿永友;  邓常猛;  吴谊群 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  极紫外光刻材料  极紫外光刻性能