机构

• 沈阳自动化研究所 [2]
• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2014 [1]
• 2012 [1]
• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 直驱XY平台伺服系统预测鲁棒轮廓跟踪控制 期刊论文  OAI收割 电机与控制学报, 2014, 卷号: 18, 期号: 8, 页码: 94-98 作者:  赵希梅;  赵久威;  李洪谊 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2014/11/03 直驱XY平台  模型预测控制器  扰动观测器  交叉耦合控制器  轮廓控制   一种基于并行化方法的自适应光学闭环预测控制器 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 8, 页码: 26-36 作者:  史晓雨;  冯勇;  陈颖;  谭治英;  孙治 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/15 大气光学  自适应光学  预测控制器  多模型单变量预测模型  并行化  多核  神经网络   光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造业  光刻过程  RtR控制  过程控制  模型预测控制  多变量控制器  控制方法  研究进展  关键尺寸  过程建模