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浏览/检索结果: 共12条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  张璐   |  收藏  |  浏览/下载：116/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测   近场光强分布对四波横向剪切干涉仪波前复原的影响研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院研究生院, 2018 作者:  陈小君   |  收藏  |  浏览/下载：180/0  |  提交时间：2018/05/23 四波横向剪切干涉仪  近场光强分布  波前复原   光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180 作者:  张璐;  向阳   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2019/09/17 测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差   十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187 作者:  向阳;  方超 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2015/04/17 测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原   可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 108003 作者:  刘蕾;  曾爱军;  朱玲琳;  黄惠杰 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2016/11/25 相干光学  波面检测  横向剪切  干涉仪  等光程差   可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 108003 作者:  刘蕾;  曾爱军;  朱玲琳;  黄惠杰 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/11/28 相干光学  波面检测  横向剪切  干涉仪  等光程差   可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 108003 作者:  刘蕾;  曾爱军;  朱玲琳;  黄惠杰 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/28 相干光学  波面检测  横向剪切  干涉仪  等光程差   九步相移抗串扰算法的相移误差分析 期刊论文  OAI收割 长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 21-23 作者:  方超 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/03/11 横向剪切干涉仪  九步相移算法  相移误差   正交两维横向剪切干涉波前测量技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 彭爱华 收藏  |  浏览/下载：92/0  |  提交时间：2014/12/10 波前探测  横向剪切干涉仪  空间载波相移  傅里叶变换法   基于LASIS的高分辨率高光谱成像仪光学系统设计及杂光分析 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009 李研 收藏  |  浏览/下载：54/0  |  提交时间：2011/10/09 光谱成像仪  R-C系统  二级光谱  Sagnac横向剪切干涉仪  杂散光分析