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机构
光电技术研究所 [1]
南京天文光学技术研究... [1]
国家授时中心 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2020 [1]
1999 [1]
1990 [1]
学科主题
天文技术与方法 [1]
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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力矩促动器的控制系统设计
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2020
作者:
刘攀登
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2020/10/08
拼接镜面
力矩促动器
直线步进电机
迟滞非线性
模型校正
高精度逐场调平技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1999
胡松
收藏
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浏览/下载:42/0
  |  
提交时间:2013/11/19
光学光刻
逐场调平
多点检焦
控制算法
套刻
步进模型
玻璃子午环(GMC)的度盘测微器
期刊论文
OAI收割
陕西天文台台刊, 1990, 期号: 1, 页码: 64-69
李焕信
收藏
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浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2012/07/10
测微器:6113
步进电机:4346
子午环:4255
度盘:2908
直接驱动:2191
计算机:1848
实物模型:1564
零位检测:1499
扫描:1462
狭缝:1451