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	可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统期刊论文 OAI收割中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003 作者: 刘涛; 徐文东; 赵成强; 王闯; 胡永璐收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2016/11/25 测量激光光刻自动聚焦气动微距检测喷嘴挡板热线探针
	可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统期刊论文 OAI收割中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003 作者: 刘涛; 徐文东; 赵成强; 王闯; 胡永璐收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2016/11/28 测量激光光刻自动聚焦气动微距检测喷嘴挡板热线探针
	可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统期刊论文 OAI收割中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003 作者: 刘涛; 徐文东; 赵成强; 王闯; 胡永璐收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2016/11/28 测量激光光刻自动聚焦气动微距检测喷嘴挡板热线探针