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学科主题
气固两相流与燃烧及其... [1]
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红外探测材料与器件 [1]
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共18条,第1-10条
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双射流流动与冷却特性实验研究
会议论文
OAI收割
作者:
姚家旭,徐进,张科,武俊梅,雷蒋
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提交时间:2017/07/12
气膜冷却
双圆孔射流
对向旋转涡对
气膜冷却有效度
压力敏感漆
基于等离子体控制的平板气膜冷却流动特性的大涡模拟
会议论文
OAI收割
2015年中国工程热物理学会气动学学术年会, 2015
作者:
李国占
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提交时间:2016/01/14
大涡模拟
等离子体
气膜冷却
反向旋转涡对
平板
气液两相流电容传感器相浓度测量特性
会议论文
OAI收割
2014年中国工程热物理学会, 2014-11
赵安
;
韩云峰
;
翟路生
;
陈春原
;
金宁德
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2014/12/10
气液两相流
相浓度
对壁式电容传感器
双螺旋式电容传感器
气液两相流电容传感器相浓度测量特性
会议论文
OAI收割
2014-11
作者:
韩云峰
;
翟路生
;
陈春原
;
金宁德
;
赵安
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2014/12/10
气液两相流
相浓度
对壁式电容传感器
双螺旋式电容传感器
气固两相对撞流颗粒运动特性分析
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会-多相流, 2013
栗晶
;
蒋贵丰
;
柳朝晖
;
郑楚光
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2013/11/28
两喷嘴对置撞击流
气固两相流
颗粒
PIV/PTV
对叶大戟种子中脂肪酸的气相色谱-质谱联用分析
期刊论文
OAI收割
新疆医科大学学报, 2012, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 480-482
作者:
木太里普·吐逊
;
古丽巴合热木·则克力
;
阿力甫·阿布都
;
阿力木江·阿布力孜
;
阿吉艾克拜尔·艾萨
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/11/29
对叶大戟种子
索氏提取法
气相色谱-质谱联用
必须脂肪酸
颗粒所致气固两相对撞圆湍射流变动
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会, 2012
栗 晶
;
蒋贵丰
;
易 超
;
柳朝晖
;
郑楚光
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2013/03/20
湍流变动
气固两相流
对撞流
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
对甲苯磺酸催化高酸值油脂甲酯化的实验研究
会议论文
OAI收割
2006中国生物质能科学技术论坛, 哈尔滨, 2006-08-15
刘伟伟
;
袁振宏
;
张无敌
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提交时间:2011/07/26
生物柴油
高酸值油脂
对甲苯磺酸
催化剂
循环气相酯化
磷酸盐催化剂上气相选择氧化的研究
学位论文
OAI收割
博士, 中国科学院长春应用化学研究所: 中国科学院长春应用化学研究所, 2004
朱宇君
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提交时间:2011/01/17
磷酸盐
气相选择氧化
醋酸
甲苯
环己烷
环己烯
对甲酚
苯甲醇