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浏览/检索结果: 共18条,第1-10条 帮助

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双射流流动与冷却特性实验研究 会议论文  OAI收割
作者:  
姚家旭,徐进,张科,武俊梅,雷蒋
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2017/07/12
基于等离子体控制的平板气膜冷却流动特性的大涡模拟 会议论文  OAI收割
2015年中国工程热物理学会气动学学术年会, 2015
作者:  
李国占
收藏  |  浏览/下载:40/0  |  提交时间:2016/01/14
气液两相流电容传感器相浓度测量特性 会议论文  OAI收割
2014年中国工程热物理学会, 2014-11
赵安; 韩云峰; 翟路生; 陈春原; 金宁德
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2014/12/10
气液两相流电容传感器相浓度测量特性 会议论文  OAI收割
2014-11
作者:  
韩云峰;  翟路生;  陈春原;  金宁德;  赵安
  |  收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2014/12/10
气固两相对撞流颗粒运动特性分析 会议论文  OAI收割
中国工程热物理学会-多相流, 2013
栗晶; 蒋贵丰; 柳朝晖; 郑楚光
收藏  |  浏览/下载:40/0  |  提交时间:2013/11/28
对叶大戟种子中脂肪酸的气相色谱-质谱联用分析 期刊论文  OAI收割
新疆医科大学学报, 2012, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 480-482
作者:  
木太里普·吐逊;  古丽巴合热木·则克力;  阿力甫·阿布都;  阿力木江·阿布力孜;  阿吉艾克拜尔·艾萨
收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2012/11/29
颗粒所致气固两相对撞圆湍射流变动 会议论文  OAI收割
中国工程热物理学会, 2012
栗 晶; 蒋贵丰; 易 超; 柳朝晖; 郑楚光
收藏  |  浏览/下载:50/0  |  提交时间:2013/03/20
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:46/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
对甲苯磺酸催化高酸值油脂甲酯化的实验研究 会议论文  OAI收割
2006中国生物质能科学技术论坛, 哈尔滨, 2006-08-15
刘伟伟; 袁振宏; 张无敌
收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2011/07/26
磷酸盐催化剂上气相选择氧化的研究 学位论文  OAI收割
博士, 中国科学院长春应用化学研究所: 中国科学院长春应用化学研究所, 2004
朱宇君
收藏  |  浏览/下载:160/0  |  提交时间:2011/01/17