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• 长春光学精密机械与... [11]

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• 期刊论文 [11]

发表日期

• 2016 [1]
• 2015 [2]
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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文  OAI收割 实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75 作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2017/09/17 双频激光干涉仪  气浮导轨  精密定位  前馈控制   基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现 期刊论文  OAI收割 电子测量技术, 2015, 期号: 12, 页码: 89-91+95 作者:  姬琪;  王红园 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/07/06 直线电机  气浮导轨  定位平台  闭环控制   大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272 作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2016/07/06 光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统   基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文  OAI收割 实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57 陈琦; 钟君 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2015/04/17 压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪   基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文  OAI收割 应用科技, 2014, 期号: 6 陈琦 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2015/04/17 纳米定位  压电陶瓷  气浮导轨  电容微位移传感器   圆盘气足的工程计算方法 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1999, 期号: 04, 页码: 48-53 作者:  董吉洪 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2013/03/11 气浮导轨  圆盘气足  承载能力   花岗石在精密仪器上的应用 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1998, 期号: 05, 页码: 55-58 彭书志 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/03/11 花岗石  精密仪器  气浮导轨   复合载荷作用下闭式气浮导轨的有限元计算法 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 1997, 期号: 02, 页码: 60-65 陶家生 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/03/11 气浮导轨  有限元法  复合载荷  角刚度   闭式双排节流孔矩形气浮导轨的计算方法(二) 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1997, 期号: 01, 页码: 56-62 陶家生 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/03/12 气浮导轨  高压区系数  承载能力  刚度   高精度间隙补偿式闭式气浮导轨性能的分析研究 期刊论文  OAI收割 长春光学精密机械学院学报, 1996, 期号: 04, 页码: 43-47 作者:  李志来 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2013/03/11 气浮导轨  间隙补偿式