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浏览/检索结果: 共23条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  张璐   |  收藏  |  浏览/下载：116/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测   基于扫描哈特曼的大口径空间光学系统检测技术 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  魏海松   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2019/09/23 光学系统检测  大口径空间望远镜  像质评估  扫描哈特曼  多光束阵列拼接  波像差   光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180 作者:  张璐;  向阳   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2019/09/17 测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差   大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术 期刊论文  OAI收割 中国光学, 2016, 期号: 1, 页码: 130-136 作者:  王孝坤   |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2017/09/17 光学检测  大口径非球面  三镜消像散系统  波像差检验  子孔径拼接干涉技术   波像差的梯度偏离值评价方法（英文） 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2015, 期号: 12, 页码: 70-75 作者:   收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2016/07/06 光学工程  光学检测  波像差检测  波像差梯度   成像光学系统的相对波像差梯度偏离值评价法 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2015, 期号: 12, 页码: 3329-3334 作者:  宣斌 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/07/06 光学检测  成像光学系统  波像差评价  波像差梯度  相对梯度偏离值   光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文  OAI收割 红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259 作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/07/06 高精度检测  光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  激光光源  光纤   光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  吴飞斌 收藏  |  浏览/下载：150/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻投影物镜  1xnm节点  波像差原位检测  Ronchi剪切干涉仪  相位提取   空间光学遥感器检测中大口径平行光管应用技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院大学, 2014 李响 收藏  |  浏览/下载：87/0  |  提交时间：2015/05/03 检测  大口径平行光管  焦面位置检测  波像差消除  光学遥感器   双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 期刊论文  OAI收割 红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 145-150 作者:  金春水;  张宇;  王丽萍;  马冬梅 收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2015/04/17 装调技术  双光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  光学检测