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2015 [1]
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学科主题
电子物理与器件 [1]
红外探测材料与器件 [1]
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共10条,第1-10条
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海翼水下滑翔机测流应用
CNKI期刊论文
OAI收割
2022
作者:
褚福硕
;
司宗尚
;
庞重光
;
俞建成
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提交时间:2024/12/18
水下滑翔机
深度平均流
误差分析
温盐深剖面仪
基于D-P准则的煤层钻孔封孔深度分析
期刊论文
OAI收割
中国安全生产科学技术, 2017, 期号: 12, 页码: 111-117
作者:
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2018/06/25
封孔深度
D-p屈服准则
剪胀角
平均瓦斯抽采浓度
钻屑量
玉米秸秆缓冲带防治黄土坡面细沟侵蚀的效果
期刊论文
OAI收割
中国水土保持科学, 2015, 卷号: 13, 期号: 1, 页码: 8-15
作者:
覃超
;
郑粉莉
;
徐锡蒙
;
吴红艳
;
沈海鸥
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2021/06/02
秸秆缓冲带
细沟平面密度
细沟平均深度
细沟侵蚀强度
人工模拟降雨
基于流体动力学的泥石流运动过程及冲击力学研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2014
作者:
吴恒滨
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提交时间:2015/03/18
泥石流
流变模型
Bingham模型
流固耦合
冲击力学
能量守恒
深度平均方程
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
放射性~9C束流不同贯穿深度上的线能谱测量
期刊论文
OAI收割
高能物理与核物理, 2005, 卷号: 2005, 期号: 11, 页码: 19-24
李强,N.Matsufuji,E.Urakabe,M.Kanazawa,S.Sato
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提交时间:2010/10/29
双重辐射源
组织等效正比计数器
线能谱
剂量平均线能
剂量平均传能线密度
贯穿深度
一种适体坐标下复连通区域的流场数值计算方法
期刊论文
OAI收割
水动力学研究与进展A辑, 2003, 期号: 1
侯国祥,刘士和,宋立荣,张勇传,翁立达,叶闽
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浏览/下载:365/29
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提交时间:2010/10/13
复连通
江心洲
流场计算
对流扩散
数学模型
深度平均
双组分射流床中射流穿透深度的研究
期刊论文
OAI收割
化学反应工程与工艺, 1995, 期号: 01, 页码: 65-72
洪若瑜,李洪钟,程 圩,张济宇
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2014/03/14
流态化
射流床
射流穿透深度
多相流模型
调和平均
算术平均
用重力异常反演地球深部密度界面的迭代法
期刊论文
OAI收割
地球物理学进展, 1993, 期号: 2, 页码: 128-130
汪汉胜
;
杨洪之
;
陈雪
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提交时间:2012/02/17
密度界面:6877
重力异常反演:6438
反演模型:2338
地球深部研究:1201
地球物理研究:1059
迭代法:1042
密度差:947
剩余质量:790
平均深度:644
铅垂线:436
硕士论文-碘化铯光阴极光电性能的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 1992
作者:
潘智勇
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提交时间:2015/10/12
碘化铯光阴极
量子效率
平均逸出深度
俄歇电子能谱
微观结构
扫描电子显微镜
x射线光电子能谱
束缚能