中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
机构
采集方式
内容类型
发表日期
学科主题
筛选

浏览/检索结果: 共10条,第1-10条 帮助

条数/页: 排序方式:
海翼水下滑翔机测流应用 CNKI期刊论文  OAI收割
2022
作者:  
褚福硕;  司宗尚;  庞重光;  俞建成
  |  收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2024/12/18
基于D-P准则的煤层钻孔封孔深度分析 期刊论文  OAI收割
中国安全生产科学技术, 2017, 期号: 12, 页码: 111-117
作者:  
  |  收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2018/06/25
玉米秸秆缓冲带防治黄土坡面细沟侵蚀的效果 期刊论文  OAI收割
中国水土保持科学, 2015, 卷号: 13, 期号: 1, 页码: 8-15
作者:  
覃超;  郑粉莉;  徐锡蒙;  吴红艳;  沈海鸥
  |  收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2021/06/02
基于流体动力学的泥石流运动过程及冲击力学研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2014
作者:  
吴恒滨
收藏  |  浏览/下载:323/0  |  提交时间:2015/03/18
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
放射性~9C束流不同贯穿深度上的线能谱测量 期刊论文  OAI收割
高能物理与核物理, 2005, 卷号: 2005, 期号: 11, 页码: 19-24
李强,N.Matsufuji,E.Urakabe,M.Kanazawa,S.Sato
  |  收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2010/10/29
一种适体坐标下复连通区域的流场数值计算方法 期刊论文  OAI收割
水动力学研究与进展A辑, 2003, 期号: 1
侯国祥,刘士和,宋立荣,张勇传,翁立达,叶闽
收藏  |  浏览/下载:365/29  |  提交时间:2010/10/13
双组分射流床中射流穿透深度的研究 期刊论文  OAI收割
化学反应工程与工艺, 1995, 期号: 01, 页码: 65-72
洪若瑜,李洪钟,程 圩,张济宇
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2014/03/14
用重力异常反演地球深部密度界面的迭代法 期刊论文  OAI收割
地球物理学进展, 1993, 期号: 2, 页码: 128-130
汪汉胜; 杨洪之; 陈雪
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2012/02/17
硕士论文-碘化铯光阴极光电性能的研究 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 1992
作者:  
潘智勇
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2015/10/12