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	含氨尾气净化工艺研究进展期刊论文 OAI收割工程研究-跨学科视野中的工程, 2021, 卷号: 13, 期号: 03, 页码: 201-213 作者: 詹国雄; 张香平; 李增喜 \| 收藏 \| 浏览/下载：0/0 \| 提交时间：2023/06/08 含NH_3尾气深度净化技术工艺研究过程模拟离子液体
	内陆及近岸二类水体透明度的遥感研究进展期刊论文 OAI收割海洋科学, 2015, 卷号: 39, 期号: 7, 页码: 136-144 作者: 禹定峰; 邢前国; 施平收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2016/12/09 二类水体遥感研究水质调查遥感反射率高光谱数据遥感数据估算模型大气校正最大深度水色遥感
	新疆阿尔泰二叠纪、三叠纪伟晶岩形成深度研究:来自流体包裹体的指示期刊论文 OAI收割矿物学报, 2015, 期号: S1 黄永胜; 张辉; 吕正航收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2016/05/19 伟晶岩矿床流体包裹体库鲁木提群深度研究伟晶岩脉形成年龄克章阿尔泰造山带尔泰包裹体均一温度
	泥石流坝后侵蚀坑纵剖面形态及最大深度实验研究期刊论文 OAI收割防灾减灾工程学报, 2009, 卷号: 29, 期号: 6, 页码: 684-689 作者: 欧国强; 潘华利收藏 \| 浏览/下载：105/0 \| 提交时间：2010/09/19 泥石流拦砂坝侵蚀坑纵剖面侵蚀深度实验研究
	短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者: 宁锦华 \| 收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作探测率高等优点 Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器通过最终性能的比较评价得出较好的台面成型方式为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉铟基材料的刻蚀需要对样品加热在此温度下光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说采用pecvd生长sinx 选择边缘平整的光刻板用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器平均刻蚀速率过快同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离提高刻蚀速率相比较ar气 N2的物理轰击力小对材料造成的损伤小同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx 在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型能得到刻蚀速率稳定可控刻蚀后的表面光洁无残留物图形保真度好。在不同的直流偏压 Icp功率气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型并从刻蚀速率刻蚀垂直度刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下 Icp具有图形保真度好刻蚀速率稳定可控的优点因而更适用于ingaas探测器的工程制作特别在小光敏元探测器的制备中 Icp的优势将更明显。
	北京脉冲低能正电子束流装置研究期刊论文 OAI收割中国原子能科学研究院年报, 2007, 期号: 0, 页码: 234 作者: 马雁云; 王宝义; 于润升收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2015/12/25 低能正电子束:6451 慢正电子束流:4461 聚束器:2848 脉冲宽度:2587 材料表面:2342 不同深度:2306 研究缺陷:1965 斩波器:1801 装置:1741 连续可调:1648
	德氏假单胞菌脱除加氢柴油中含硫化合物会议论文 OAI收割第一届全国化学工程与生物化工年会, 中国, 2004-11 单国彬; 邢建民; 张怀英; 李望良; 刘会洲; 阳承立收藏 \| 浏览/下载：31/0 \| 提交时间：2013/09/29 含硫化合物:6881 脱硫活性:3959 加氢脱硫:2676 脱除率:2329 催化脱除:2310 深度脱硫:2282 模拟体系:2121 反应条件:1863 微生物:1754 研究热点:1667
	大地等效电导率研究与城镇建筑会议论文 OAI收割土地覆被变化及其环境效应学术会议, 中国云南昆明, 2002 陈洪卿; 舒卓炊; 张峰云; 高玉平收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2012/10/19 城镇建筑 9793 国际无线电咨询委员会 1274 地球表层 754 地球物理图 637 电阻率分布 580 大地电磁测深 545 国际电讯 544 地层深度 440 重要参量 429 中间数据 425\|Abstract <正> 1前言大地电导率是表征地球物理电特性的重要参量。《中国地球物理图集》根据大地电磁测深(MTS)野外调查绘制出了中国大陆30km 90km 150 km地层深度的电阻率分布图。对地球表层的土地电阻率电导率除利用电磁法地下找水找油找矿有所涉及外在地学界未予足够重视测得的中间数据资料零星散落。然而地球表层的大地电导率及其分布对于无线电电波环境和信息科学却非常重要。国际电讯联盟(ITU) 国际无线电咨询委员会(CCIR)早就有关于大地电导率地电参量研究的报告书“Electrical Characteristics of the Surface of the Earth”(1959) 建议书(Rec.
	塔参1井深层有机质演化特征会议论文 OAI收割 2001年全国沉积学大会, 中国武汉, 2001-10-16至2011-10-19 周世新; 王先彬收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2012/10/30 塔参1井有机质演化深层样品详细地研究气体组分塔里木盆地饱和烃几点认识碳酸盐岩不同深度