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机构
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OAI收割 [14]
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地球深部物质与流体作... [2]
红外探测材料与器件 [1]
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共14条,第1-10条
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金川资源综合利用项目之中科院镍钴分离研究的回顾与分析
期刊论文
OAI收割
工程研究-跨学科视野中的工程, 2018, 卷号: 10, 期号: 06, 页码: 616-625
作者:
刘伟
;
黄淑兰
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提交时间:2019/06/17
金川
镍
钴
湿法冶金
萃取分离
新型湿法高效旋流脱除细颗粒实验研究
会议论文
OAI收割
作者:
王军锋,钱姜海,刘海龙,张姚文,张仕超
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提交时间:2017/06/19
旋流分离 液膜吸附 细微颗粒 湿法净化
锰银矿中银、锰资源提取方法研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
赵成东
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提交时间:2017/10/26
锰银矿
硫酸亚铁
湿法分离
除铁
氰化
云南某锰银矿特征及湿法分离实验研究
期刊论文
OAI收割
矿冶工程, 2015, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 111-113
作者:
田元江
;
赵成东
;
王宁
;
顾汉念
;
温汉捷
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提交时间:2017/09/13
锰银矿
湿法分离
银
锰
银锰分离
稀土清洁冶金工艺及钍纯化技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 中国科学院长春应用化学研究所: 中国科学院研究生院, 2013
作者:
王艳良
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提交时间:2016/09/14
稀土
钍
分离
纯化
工艺
湿法冶金
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
闪锌矿的浸出与传质分离耦合机理和氧化铁纳米粉制备中的物理化学
学位论文
OAI收割
博士, 中国科学院过程工程研究所: 中国科学院过程工程研究所, 2003
王兴尧
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提交时间:2013/09/16
分离耦合
湿法浸出
硫化锌矿
水热反萃
纳米α-氧化铁
叔胺萃取分离钴(II)、铁(II)
期刊论文
OAI收割
过程工程学报, 2001, 卷号: 1.0, 期号: 004, 页码: 360
作者:
周学玺
;
杜晓宁
;
朱屯
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提交时间:2021/03/29
萃取分离
钴(II)
铁(II)
叔胺
湿法冶金
溶剂萃取
季铵盐对钴(Ⅱ)和锰(Ⅱ)的萃取分离
期刊论文
OAI收割
中国有色金属学报, 2000, 卷号: 10.0, 期号: 004, 页码: 542
作者:
周学玺
;
许新
;
马驰骋
;
朱屯
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提交时间:2021/03/29
萃取分离
钴
锰
季铵氯化物
湿法冶金
有机硫代磷酸-有机胺协萃体系萃取分离镉锌的研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院, 1996
张大力
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提交时间:2013/09/28
湿法炼锌
溶剂萃取
协同萃取
镉锌分离